【摘要】 圆形铂金薄膜二维风速风向传感器的最下层是半导体硅衬底(101)，在硅衬底(101)上制作发热电阻(102)，在具有发热电阻(102)的硅衬底(101)之上是二氧化硅绝缘层(103)，二氧化硅绝缘层(103)之上采用圆形的铂金薄膜(104)作为传感面，铂金电极(105)位于圆形的铂金薄膜(104)的圆周外；由发热电阻产生的热量形成圆形的铂金薄膜电阻率的初始分布，流动的空气移动了热量并导致圆形的铂金薄膜电阻率分布发生变化，利用热分布变化引起铂金薄膜电阻率分布变化的原理测量风速和风向。 【专利类型】发明申请 【申请人】东南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210096 江苏省南京市四牌楼2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201010501568.3 【申请日】2010-09-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101980025A 【公开公告日】2011-02-23 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101980025B 【授权公告日】2012-02-01 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G01P5/12; G01P13/02; B81B3/00 【发明人】李伟华 【主权项内容】一种圆形铂金薄膜二维风速风向传感器，其特征在于该传感器的最下层是半导体硅衬底(101)，在硅衬底(101)上制作发热电阻(102)，在具有发热电阻(102)的硅衬底(101)之上是二氧化硅绝缘层(103)，二氧化硅绝缘层(103)之上采用圆形的铂金薄膜(104)作为传感面，铂金电极(105)位于圆形的铂金薄膜(104)的圆周外；由发热电阻产生的热量形成圆形的铂金薄膜电阻率的初始分布，流动的空气移动了热量并导致圆形的铂金薄膜电阻率分布发生变化，利用热分布变化引起铂金薄膜电阻率分布变化的原理测量风速和风向。 【当前权利人】南通大力神建筑机械有限公司; 东南大学 【当前专利权人地址】江苏省南通市海安县墩头镇墩西村五组; 江苏省南京市玄武区四牌楼2号 【统一社会信用代码】12100000466006770Q 【引证次数】4.0 【被引证次数】4 【自引次数】3.0 【他引次数】1.0 【被自引次数】2.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】4

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