【摘要】本发明公开一种基于陶瓷圆片级封装的CMOS集成风速风向传感器的制作,包括以下步骤:第一步,陶瓷芯片的制备,利用溅射和刻蚀工艺在陶瓷芯片下表面制作加热元件和用于电连接、热连接以及电引出的焊盘。第二步,硅芯片的制备,利用标准CMOS工艺
【摘要】 本实用新型的行星驱动式深松机,其结构主要包括变速箱、2个十字形行星架、中心轴、太阳轮、中间轮、行星轮、刀轴和犁刀,所述十字形行星架的中心处分别固装在中心轴的两头,太阳轮固装在中心轴上,刀轴平行安装在2个十字形行星架的8个端点之间,行星轮分别固装在刀轴上,犁刀垂直分布在刀轴上。刀轴在随十字形行星架绕太阳轮公转的同时还受行星轮驱动而进行自转,使垂直分布在刀轴上的犁刀始终处于垂直状态,刀轴上的犁刀即可轮流垂直切土点穴深松后垂直退出。具有结构简单合理,生产成本低,牵引阻力小,入土阻力小,驱动功率低,节能效果明显,能方便调节松土深度和密度等优点,是一种点穴式的深松效果好的深松机,填补了点穴式深松设备的空白。 【专利类型】实用新型 【申请人】南京农业大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210095 江苏省南京市玄武区卫岗1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201020252529.X 【申请日】2010-07-09 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201726647U 【公开公告日】2011-02-02 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201726647U 【授权公告日】2011-02-02 【授权公告年份】2011.0 【发明人】姚静; 丁启朔; 丁为民; 姬长英; 赵国柱 【主权项内容】微信 。一种行星驱动式深松机,其特征在于包括变速箱、2个十字形行星架、中心轴、太阳轮、4个中间轮、4个行星轮、4根刀轴和犁刀,所述2个十字形行星架的中心处分别固装在中心轴的两头,太阳轮固装在中心轴上,4根刀轴平行安装在2个十字形行星架的8个端点之间,4个行星轮分别固装在4个刀轴上,行星轮的直径和齿数与太阳轮的直径和齿数相同,4个中间轮安装在太阳轮与行星轮之间,犁刀垂直分布在刀轴上,中心轴经链轮传动装置与变速箱联接。 【当前权利人】南京农业大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市浦口区泰山街道点将台路40号64号信箱 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000466007562R 【被引证次数】2 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】2
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