【摘要】 本实用新型公开了一种RF MEMS欧姆并联开关，它在特性阻抗50欧姆共面波导的中间位置用折叠梁支撑一段膜梁，膜梁下方有金矩形环和金矩形驱动电压板，矩形环下方有圆柱形凸起。在改良传统RF MEMS欧姆并联开关的基础之上，使得开关具有更宽带宽、更大隔离度、更低驱动电压和更高可靠性的显著优点。 【专利类型】实用新型 【申请人】南京理工大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210094 江苏省南京市孝陵卫200号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201020105867.0 【申请日】2010-02-02 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201797028U 【公开公告日】2011-04-13 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201797028U 【授权公告日】2011-04-13 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01P1/10; H01H59/00 【发明人】车文荃; 刘世劼; 张洁 【主权项内容】一种RF MEMS欧姆并联开关，包括介质基板[1]、中心导带[2]、两块地板[3]，中心导带[2]位于介质基板[1]上方的中央位置，两块地板[3]对称分布在中心导带[2]的两侧构成共面波导，其特征在于：还包括膜梁[4]、四个折叠梁[5]、两个金锚[6]、矩形环[7]及两块驱动电压板[8]，矩形环[7]位于共面波导中央位置的上方，两块驱动电压板[8]对称分布在共面波导横向中轴的两侧，且与矩形环[7]位于同一平面，两块驱动电压板[8]和矩形环[7]的上表面黏附有膜梁[4]，两个金锚[6]分别与沿膜梁[4]中心点呈对称分布的折叠梁[5]的一侧末端连接，两个金锚[6]分别与两块地板[3]相连，四个折叠梁[5]的另一侧末端与膜梁[4]相连，矩形环[7]的每条边上有三个向下的凸点。。微信 【当前权利人】南京理工大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市玄武区孝陵卫200号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000466007597C 【被引证次数】10 【被自引次数】1.0 【被他引次数】9.0 【家族被引证次数】10

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