【摘要】 本发明公开了一种常开态场发射型射频微机械开关，包括低损耗衬底，绝缘介质薄膜、共面波导的信号线和地线，信号线位于两根地线之间，绝缘介质薄膜设在低损耗衬底信号线及地线之间，信号线中部的左右两侧各设有一排金属微尖，相应的，两根地线与信号线相邻一侧的中部也各设有一排金属微尖，地线上的金属微尖与相邻信号线上的金属微尖之间有间隔；低损耗衬底与上述金属微尖相对应的位置内凹形成一个两个空腔，使金属微尖呈悬空状态。本发明中的共面波导的信号线结构从物理上进行隔断类似机械开关，因此它的隔离度高；而其无可动结构的通断方式类似半导体开关，因此它的可靠性高且响应速度快；且通过采用尖对尖结构，可以获得较低的开关阈值电压。 【专利类型】发明申请 【申请人】东南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210096 江苏省南京市四牌楼2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201010591240.5 【申请日】2010-12-16 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102064042A 【公开公告日】2011-05-18 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102064042B 【授权公告日】2013-04-03 【授权公告年份】2013.0 【发明人】黄庆安; 王立峰; 唐洁影; 韩磊; 张晓兵 【主权项内容】一种常开态场发射型射频微机械开关，其特征在于包括低损耗衬底(1)，绝缘介质薄膜(2)、共面波导的信号线(5)和地线(3)，信号线位于两根地线之间，绝缘介质薄膜(2)设在低损耗衬底(1)信号线及地线之间，其特征在于信号线中部的左右两侧各设有一排金属微尖(4)，相应的，两根地线与信号线相邻一侧的中部也各设有一排金属微尖(4)，地线上的金属微尖(4)与相邻信号线上的金属微尖(4)之间有间隔；低损耗衬底(1)与上述金属微尖(4)相对应的位置内凹形成一个两个空腔(6)，使金属微尖(4)呈悬空状态。 【当前权利人】东南大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市四牌楼2号 【统一社会信用代码】12100000466006770Q 【被引证次数】2 【家族被引证次数】2

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