【摘要】 本发明公开了一种微悬臂梁接触长度的测量结构及其方法，该测量结构包括衬底和两个尺寸相同的金属悬臂梁，所述衬底上设有悬臂梁锚区、与测量结构相对应的用于静电激励的下拉电极、分别对应于两个悬臂梁的两个衬底接触电极；所述悬臂梁通过悬臂梁锚区位置对称地并行固定在衬底上方；所述两个衬底接触电极材料相同，其中一个衬底接触电极由两条以上并行排列的窄条电极构成。测量时，在静电激励下悬臂梁自由端与衬底上的两条以上的窄条电极相接触时，将使相应的窄条电极接通，通过测试各窄条电极之间的连通状况判断悬臂梁与衬底接触的位置，从而确定悬臂梁的接触长度。本发明提供的测量结构简单，测量方法容易并且能够实现在线测量。 【专利类型】发明授权 【申请人】东南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210009 江苏省南京市江宁开发区东南大学路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】江宁区 【申请号】CN201010153380.4 【申请日】2010-04-21 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101839706B 【公开公告日】2011-10-19 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101839706B 【授权公告日】2011-10-19 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01B21/02; B81C1/00 【发明人】唐洁影; 袁洁 【主权项内容】一种微悬臂梁接触长度的测量结构，其特征在于：所述测量结构包括衬底(1)、两个尺寸及材料相同的金属第一悬臂梁(31)和第二悬臂梁(32)；所述衬底(1)上设有悬臂梁锚区(2)、与测量结构相对应的用于静电激励的下拉电极(4)、对应于第一悬臂梁(31)的普通衬底接触电极(5)和对应于第二悬臂梁(32)的衬底接触电极；所述第一悬臂梁(31)和第二悬臂梁(32)通过悬臂梁锚区(2)位置对称地并行固定在衬底(1)上方；所述对应于第一悬臂梁(31)的普通衬底接触电极(5)和对应于第二悬臂梁(32)的衬底接触电极材料相同；所述对应于第二悬臂梁(32)的衬底接触电极由两条以上并行排列的窄条电极构成，所述窄条电极末端连接有压焊块。 【当前权利人】东南大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市江宁开发区东南大学路2号 【统一社会信用代码】12100000466006770Q 【引证次数】7.0 【自引次数】2.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】7

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