【摘要】 本发明的微电子机械开关自激励机理的测试结构具有实验结果精确，可比较性强，对测试仪器的要求简单等特点。该结构以砷化镓为衬底，在衬底上设有CPW、一分四功率分配器和梁阵列。该测试结构具有五个相同的梁结构，其中一个梁结构直接与RF输入端口和RF输出端口连接，其余四个梁结构分别与一分四功率分配器的四个输出端口连接，另一端分别接RF输出端口，五个梁结构各自具有独立的驱动电极；在机械结构上，CPW(a)、一分四功率分配器(b)、梁结构阵列(c)设置在同一块衬底(1)上。 【专利类型】发明授权 【申请人】东南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210009 江苏省南京市江宁开发区东南大学路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】江宁区 【申请号】CN201010121131.7 【申请日】2010-03-10 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101782627B 【公开公告日】2011-11-23 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101782627B 【授权公告日】2011-11-23 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01R31/327; H01P5/12 【发明人】廖小平; 肖建斌 【主权项内容】一种微电子机械开关自激励机理的测试结构，其特征在于该测试结构具有五个相同的梁结构，其中一个梁结构直接与RF输入端口和RF输出端口连接，其余四个梁结构的一端分别对应与一分四功率分配器的四个输出端口连接，另一端分别接RF输出端口，五个梁结构各自具有独立的驱动电极；在机械结构上，CPW(a)、一分四功率分配器(b)、梁结构阵列(c)设置在同一块衬底(1)上；梁结构阵列(c)由一个单独的梁结构和四个分别与一分四功率分配器四个RF输出端口相连的梁结构组成；梁结构是固支梁(13)，或是悬臂梁(14)；固支梁(13)横跨在CPW(a)上，两个锚区(15)分别位于CPW的两个地线(4)上；固支梁下面的CPW信号线(3)被氮化硅介质层(12)覆盖，至于悬臂梁(14)则为插入式，也就是说，CPW的信号线(3)除去一段，梁的锚区(15)位于信号线(3)断开的一端，梁的接触端悬空但与信号线(3)断开的另一端交叠；驱动电极(16)上覆盖氮化硅介质层(12)，固支梁结构的驱动电极(16)位于CPW信号线(3)与CPW的地线(4)的空隙上，而悬臂梁(14)的驱动电极(16)位于CPW信号线(3)的断开处，驱动电极的引线(17)从CPW的地线(4)的断开处引出，而CPW地线(4)的断开处用空气桥(18)连接。 【当前权利人】东南大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市江宁开发区东南大学路2号 【统一社会信用代码】12100000466006770Q 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】8

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