【摘要】 本实用新型是吹气腐蚀机，结构包括PVC板箱体、电气控制柜、不锈钢方管支架、废液溢水槽、抽风机孔、PPR给水管，其中电气控制柜设置在PVC板箱体的两侧，不锈钢方管支架在PVC板箱体的下方，电气控制柜内有控制装置，废液溢水槽与PVC板箱体是一体的，在PVC板箱体底部设排污口，抽风机孔开在PVC板箱体的上方，在PVC板箱体的背面设PPR水管，PVC板箱体内安装腐蚀溶液槽、纯净水槽、热水槽。优点：在腐蚀作业和清洗作业时，压缩空气经流量控制，晶片翻腾的分散游离不会产生叠片贴合和腐蚀痕不良品；腐蚀瓶与气室是快速螺纹连接，安装和拆卸操作便捷；单瓶装片量比摇篮提高3000pcs，结构简单，无须伺服电机控制。 【专利类型】实用新型 【申请人】菲特晶(南京)电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】210038 江苏省南京市经济技术开发区工业楼02栋南一层 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】栖霞区 【申请号】CN201020258519.7 【申请日】2010-07-15 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201762245U 【公开公告日】2011-03-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201762245U 【授权公告日】2011-03-16 【授权公告年份】2011.0 【发明人】高军; 孟为民; 张骏; 詹军 【主权项内容】吹气腐蚀机，其特征是包括PVC板箱体、电气控制柜、不锈钢方管支架、控制器、废液溢水槽、排污口、抽风机孔、PPR给水管，其中电气控制柜设置在PVC板箱体的两侧，不锈钢方管支架在PVC板箱体的下方，电气控制柜内设有控制装置，废液溢水槽与PVC板箱体是一体的，在PVC板箱体底部设排污口，抽风机孔开在PVC板箱体的上方，在PVC板箱体的背面设PPR水管，PVC板箱体内安装腐蚀溶液槽、纯净水槽、热水槽。 【当前权利人】菲特晶(南京)电子有限公司 【当前专利权人地址】江苏省南京市经济技术开发区工业楼02栋南一层 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】913201007245940001 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE

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