【摘要】 一种微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器及其制备方法，耦合器为四端口微波器件，包括主线和副线，四端口为主线输入端口、主线输出端口、副线耦合输出端口和副线隔离端口，以砷化镓衬底为基底，在基底上设置主线和副线，副线与主线耦合的部分设有MEMS固支梁，MEMS固支梁作为副线的一段耦合线段；MEMS固支梁下方设有驱动电极，对应驱动电极在副线外侧设有压焊块，通过引线与驱动电极连接。本发明的微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器不但具有传统定向微波功率耦合器的低损耗、高隔离度和良好的方向性的特点，而且通过控制MEMS固支梁的驱动电压使该微波功率耦合器能够实现耦合和不耦合两种状态，减少不必要的功率损耗。 【专利类型】发明申请 【申请人】东南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210009 江苏省南京市江宁开发区东南大学路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】江宁区 【申请号】CN201010240185.5 【申请日】2010-07-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102255128A 【公开公告日】2011-11-23 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102255128B 【授权公告日】2013-09-18 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】H01P5/18; H01P11/00; B81B3/00; B81C1/00 【发明人】廖小平; 张志强 【主权项内容】一种微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器，为四端口微波器件，包括主线(5)和副线(6)，四端口为主线输入端口(1)、主线输出端口(2)、副线耦合输出端口(3)和副线隔离端口(4)，其特征是以砷化镓衬底(19)为基底，在基底上设置主线(5)和副线(6)，副线(6)与主线(5)耦合的部分设有MEMS固支梁(9)，MEMS固支梁(9)作为副线(6)的一段耦合线段，并位于副线(6)中部；MEMS固支梁(9)下方设有驱动电极(11)，对应驱动电极(11)在副线(6)外侧设有电输入压焊块(18)，通过引线(17)与驱动电极(11)连接。。 【当前权利人】东南大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市江宁开发区东南大学路2号 【统一社会信用代码】12100000466006770Q 【引证次数】2.0 【被引证次数】10 【自引次数】2.0 【被自引次数】9.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】10

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