【摘要】 本发明公开了一种基于谐振频率法的MEMS薄膜泊松比在线测量方法，其步骤是：制作一个圆环形MEMS薄膜作为测试结构，其内边界固支在锚区上、外边界自由；锚区固定在衬底上；测量出圆环形MEMS薄膜的径向振动和横向振动的谐振频率，然后用径向振动和横向振动的谐振频率计算MEMS薄膜泊松比。本发明方法，无需预先知道薄膜杨氏模量及材料密度等的具体值，避免了因杨氏模量及材料密度等引起的误差，有利于精度的提高。由于圆环薄膜结构的对称性，锚区更接近理想固支。属于非接触式测量，测量过程不会对测试结构产生影响，可以保证测量的重复性。对于导体和非导体本方法均适用。测试结构制作简单。 【专利类型】发明授权 【申请人】南京师范大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210046 江苏省南京市仙林新城文苑路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】栖霞区 【申请号】CN201010106887.4 【申请日】2010-02-08 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101769898B 【公开公告日】2011-06-15 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101769898B 【授权公告日】2011-06-15 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01N29/12 【发明人】戎华; 赵彩峰 【主权项内容】1.基于谐振频率法的MEMS薄膜泊松比在线测量方法，其步骤是： 制作一个圆环形MEMS薄膜作为测试结构，其内边界固支在锚区上、外边界自由；锚区固定在衬底上；测量出圆环形MEMS薄膜的径向振动和横向振动的谐振频率，然后用下式计算MEMS薄膜泊松比： 且a＝2b 其中：a是圆环形MEMS薄膜的外半径； b是圆环形MEMS薄膜的内半径； h是圆环形MEMS薄膜的厚度； f1是径向振动谐振频率； f2是横向振动谐振频率； v是MEMS薄膜泊松比； 所述横向振动是垂直MEMS薄膜面的振动。 【当前权利人】常熟紫金知识产权服务有限公司 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】123200004660067976 【引证次数】4.0 【被引证次数】2 【自引次数】1.0 【他引次数】3.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】10

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