【摘要】 本发明公开了一种光纤型激光自混合干涉仪及其测量方法，属于位移精密测量领域。干涉仪包括分布反馈半导体激光器、保偏光纤耦合器、线内起偏器、单模光纤、电光调制器、光纤光栅、梯度折射率透镜，试件、光电探测器、数据采集与处理系统、光纤夹持器、一维导轨、二维精密平移台、显微镜、底座、支架和信号发生器。光纤光栅和试件分别与激光器的出射端面构成参考外腔和测量外腔，产生两重外腔自混合干涉现象，数据采集与处理系统采用正交解调技术分析得到的自混合信号，最后可以计算得出试件的位移量。本发明的光纤干涉仪结构很适用于微机械和MEMS器件的纳米级位移和振动的测量，更接近实用化。 【专利类型】发明授权 【申请人】南京师范大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210046 江苏省南京市亚东新城区文苑路1号行健楼403 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】栖霞区 【申请号】CN201010275001.9 【申请日】2010-09-08 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101949685B 【公开公告日】2011-11-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101949685B 【授权公告日】2011-11-16 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01B9/02; G01B11/02 【发明人】王鸣; 夏巍 【主权项内容】1.光纤型激光自混合干涉仪，其特征在于：所述干涉仪包括分布反馈半导体激光器(1)、保偏光纤耦合器(2)、线内起偏器(3)、单模光纤(4)、电光调制器(5)、光纤光栅(6)、梯度折射率透镜(7)、试件(8)、光电探测器(9)、数据采集与处理系统(10)、光纤夹持器(11)、一维导轨(12)、二维精密平移台(13)、显微镜(14)、底座(15)、支架(16)和信号发生器(17)，所述一维导轨(12)、二维精密平移台(13)、试件(8)依次固定在所述底座(15)的中心，所述支架(16)固定在所述底座(15)的两侧，所述显微镜(14)和光纤夹持器(11)装在所述支架(16)上，所述单模光纤(4)依次连接所述激光器(1)、保偏光纤耦合器(2)、线内起偏器(3)、电光调制器(5)、光纤光栅(6)和梯度折射率透镜(7)，并由所述光纤夹持器(11) 固定，所述信号发生器(17)的输出端与所述电光调制器(5)连接。 【当前权利人】南京师范大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市亚东新城区文苑路1号行健楼403 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】123200004660067976 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】21

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