【摘要】 本发明公开了一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置，特点是从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体，通过换热设备，与从氯化氢分离塔塔底输出的高温氯硅烷液体进行热交换，从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化，高温氯硅烷温度降低，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。所述的装置包括依次连接的氯化氢冷凝储槽、换热器和除沫器，换热器下方设置有与其相连的氯硅烷贮槽。用尾气回收系统中的热量和冷量进行相互转化，充分利用能量，节省了能源。 【专利类型】发明申请 【申请人】特变电工新疆硅业有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市昆明路158号野马大厦七层 【申请人地区】中国 【申请人城市】乌鲁木齐市 【申请人区县】新市区 【申请号】CN201010195798.1 【申请日】2010-06-09 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102039082A 【公开公告日】2011-05-04 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102039082B 【授权公告日】2011-08-31 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B01D53/18 【发明人】陈朝霞; 王立春; 李长生; 黄杨; 陈喜清 【主权项内容】一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法，其特征在于：从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体，通过换热设备，与从氯化氢分离塔塔底分离出的高温氯硅烷液体进行热交换，从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化，与其中夹带的少量氯硅烷液体实现分离，高温氯硅烷液体温度降低，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。 【当前权利人】新特能源股份有限公司 【当前专利权人地址】新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园 【引证次数】6.0 【被引证次数】6 【他引次数】6.0 【被自引次数】2.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】6

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