【摘要】 本实用新型公开一种NiCr阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述的第一阴极挡板本体与所述的第二阴极挡板本体之间具有一个口部，所述的第一阴极挡板本体上设置有与之相互平行的能够沿其表面滑动的第一伸缩板，所述的第二阴极挡板本体上设置有与之相互平行的能够沿其表面滑动的第二伸缩板，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板能够相向滑动或者相背滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板相向滑动时将所述的口部部分封盖。本实用新型的结构在即使NiCr阴极功率很低的情况下，确保靶材原子以高能量溅射到基片表面，增加NiCr膜层与介质层的附着力，提高产品的耐磨、耐酸碱性能，适合推广使用。 【专利类型】实用新型 【申请人】吴江南玻华东工程玻璃有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215200 江苏省吴江市经济开发区庞金路869号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴江区 【申请号】CN201020547197.8 【申请日】2010-09-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201809434U 【公开公告日】2011-04-27 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201809434U 【授权公告日】2011-04-27 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C14/34; C23C14/14 【发明人】朱哲煜; 武瑞军 【主权项内容】一种NiCr阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述的第一阴极挡板本体与所述的第二阴极挡板本体之间具有一个口部，其特征在于：所述的第一阴极挡板本体上设置有第一伸缩板，所述的第二阴极挡板本体上设置有第二伸缩板，所述的第一伸缩板与所述的第一阴极挡板本体相互平行，所述的第二伸缩板与所述的第二阴极挡板本体相互平行，所述的第一伸缩板能够沿所述的第一阴极挡板本体的表面滑动，所述的第二伸缩板能够沿所述的第二阴极挡板本体的表面滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板能够相向滑动或者相背滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板相向滑动时将所述的第一阴极挡板本体与第二阴极挡板本体之间的口部部分封盖。 【当前权利人】吴江南玻华东工程玻璃有限公司 【当前专利权人地址】江苏省吴江市经济开发区庞金路869号 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】913205097933134362 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】5

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