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一种解决镀膜玻璃边缘效应的方法专利

时间:2026-07-05    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明公开一种解决镀膜玻璃边缘效应的方法,其利用磁控溅射的方法将靶材原子沉积在玻璃的表面,在位于玻璃上方的所述的靶材的溅射通道上布有氩气,在玻璃的下方布有减缓溅射的工艺气体,所述的减缓溅射的工艺气体为氧气或者氮气。本发明在不改变原有的设备和方法的基础上,只在玻璃的下方布减缓溅射的气体(氧气或者氮气等),而由于玻璃的阻挡作用,这些减缓溅射的气体只会从玻璃的边缘进入溅射区域,从而就降低了玻璃边缘的溅射速度,减薄了边部的膜层的厚度,从而解决了镀膜玻璃的边缘效应的问题。。 【专利类型】发明申请 【申请人】吴江南玻华东工程玻璃有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215200 江苏省吴江市经济开发区庞金路869号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴江区 【申请号】CN201010296023.3 【申请日】2010-09-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102021523A 【公开公告日】2011-04-20 【公开公告年份】2011 【发明人】武瑞军 【主权项内容】一种解决镀膜玻璃边缘效应的方法,其利用磁控溅射的方法将靶材原子沉积在玻璃的表面,在位于玻璃上方的所述的靶材的溅射通道上布有惰性气体,其特征在于:在玻璃的下方布有减缓溅射的工艺气体。 【当前权利人】吴江南玻华东工程玻璃有限公司 【当前专利权人地址】江苏省吴江市经济开发区庞金路869号 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】913205097933134362 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE

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