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晶圆转送台的防撞报警装置专利

时间:2026-07-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型公开了一种晶圆转送台的防撞报警装置,该装置包括电源、感应传感器和报警装置,所述电源、感应传感器和报警装置串联,所述该晶圆转送台的该防撞报警装置位于晶圆转送台的一侧。当操作人员抱取晶舟到达传感器附近一定距离时,会触发传感器使得报警装置发出报警声,提醒操作人员注意,以免撞到机台手臂,使晶圆使晶片的损坏或报废,因此该防撞报警可有效保护晶圆,减少晶圆破片,减少资源浪费,节约生产成本。 : 【专利类型】实用新型 【申请人】颀中科技(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215000 江苏省苏州市工业园区凤里街168号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020589775.4 【申请日】2010-11-03 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201868400U 【公开公告日】2011-06-15 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201868400U 【授权公告日】2011-06-15 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/67; H01L21/677; G08B21/00 【发明人】陈秀龙 【主权项内容】一种晶圆转送台的防撞报警装置,其特征在于:该装置包括电源、感应传感器和报警装置,所述电源、感应传感器和报警装置串联,所述该晶圆转送台的该防撞报警装置位于晶圆转送台的一侧。 【当前权利人】颀中科技(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市工业园区凤里街168号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】91320594762849748G 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】5

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