【摘要】１．本外观设计产品的名称是出水消毒槽。２．本外观设计产品的功能是生活污水处理器出水消毒。３．本外观设计产品的设计要点在于：出水消毒槽的形状和结构。４．最能表明本外观设计产品的设计要点的是立体图。。【专利类型】外观设计【申请人】苏州嘉
【摘要】 本实用新型公开了一种涂胶显影机台，包含光阻容器，所述光阻容器上设置有输入管路、输出管路和排空管路，所述输入管路和输出管路上分别设置有检测管路内是否有气泡的输入端传感器和输出端传感器，所述排空管路上设置有用于检测排空管路内是否有气泡的排空端传感器。本实用新型的涂胶显影机台通过在光阻容器的排空管路上加装排空端传感器，在光阻容器中的气泡没有完全排除时，涂胶显影机台会持续报警。本实用新型能够在不改变机台软件的情况下良好的侦测机台光阻缓存区是否有气泡，从而避免因光阻缓存区气泡没有排除干净而产生的晶片蚀刻良率或可靠度降低的问题。 【专利类型】实用新型 【申请人】和舰科技(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215025 江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020539780.4 【申请日】2010-09-21 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201765433U 【公开公告日】2011-03-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201765433U 【授权公告日】2011-03-16 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G03F7/16; G03F7/26; H01L21/027 【发明人】鲁旭光; 陈晓琪; 胡清强; 王波 【主权项内容】一种涂胶显影机台，包含光阻容器，所述光阻容器上设置有输入管路、输出管路和排空管路，所述输入管路和输出管路上分别设置有检测管路内是否有气泡的输入端传感器和输出端传感器，其特征在于，所述排空管路上设置有用于检测排空管路内是否有气泡的排空端传感器。 【当前权利人】和舰科技(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 【专利权人类型】有限责任公司(中外合资) 【统一社会信用代码】91320594732513557J 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2
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