【摘要】本实用新型涉及一种用于化学气相沉积设备中的气体墙结构,包括设置于外管内腔中的内管,内、外管之间留有均匀间隙,该间隙与设置在外管上的进气口连通,内管上沿轴向分布多个连通内管内腔和上述均匀间隙的气隙结构,其中每一气隙结构包括沿周向均匀分
【摘要】 本实用新型公开了气垫悬浮传送带材的纠偏装置,包括具有喷风孔的气垫箱单元,所述纠偏装置还包括与所述喷风孔相对设置的承风板,所述喷风孔与所述承风板之间形成收容带材的带材传送通道,在所述带材传送通道的横向方向上,所述承风板包括中间部、相对于所述中间部倾斜设置以靠拢所述喷风孔的两端部。带材在带材传送通道进行悬浮传送时,正常情况下,带材应当处于承风板的中间位置,如果带材跑偏靠近承风板两端时,由于承风板的两端部相对于中间部倾斜设置,承风板的两端部向喷风孔靠拢,则喷风孔喷出的空气气流经承风板两端部上的倾斜斜面反射后会对带材产生气流推力,推动带材向承风板的中间位置移动,自动纠正带材的偏移。 : 【专利类型】实用新型 【申请人】苏州中门子科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215126 江苏省苏州市工业园区民胜路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020632432.1 【申请日】2010-11-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201890655U 【公开公告日】2011-07-06 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201890655U 【授权公告日】2011-07-06 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B65H23/24 【发明人】蒋明根; 王彦荣; 蒋岳明 【主权项内容】气垫悬浮传送带材的纠偏装置,包括具有喷风孔的气垫箱单元,其特征在于:所述纠偏装置还包括与所述喷风孔相对设置的承风板,所述喷风孔与所述承风板之间形成收容带材的带材传送通道,在所述带材传送通道的横向方向上,所述承风板包括中间部、相对于所述中间部倾斜设置以靠拢所述喷风孔的两端部。。数据由整理 【当前权利人】苏州中门子科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市工业园区民胜路18号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】913205947287376709 【被引证次数】7 【被自引次数】1.0 【被他引次数】6.0 【家族被引证次数】7
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