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探针卡检测系统专利

时间:2026-07-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型有关于一种探针卡检测系统,包括一机台、一载放座、一数据库、一影像撷取装置、一三轴光学尺及一控制器。机台设置有一上方三轴位移机构,载放座架设于机台。数据库存有一数据文件,数据文件包括有对应该探针卡上多个区域的多根探针XY坐标信息的多组基准数据。影像撷取装置与三轴光学尺固定于上方三轴位移机构,控制器电性连接于数据库、影像撷取装置及三轴光学尺。由此,可达到非接触量测探针卡的探针变形位移及平坦度的目的。 【专利类型】实用新型 【申请人】京隆科技(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215123 江苏省苏州工业园区凤里街168号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020636329.4 【申请日】2010-11-26 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201897468U 【公开公告日】2011-07-13 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201897468U 【授权公告日】2011-07-13 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01B11/03; G01B11/30; G01R35/00 【发明人】郝亚慧 【主权项内容】一种探针卡检测系统,其特征在于,用于检测一探针卡的堪用度,该检测系统包括:一机台,设置有一上方三轴位移机构;一载放座,架设于该机台;一数据库,存有一数据文件,该数据文件包括有对应该探针卡上多个区域的多根探针XY坐标信息的多组基准数据;一影像撷取装置,固定于该上方三轴位移机构;一三轴光学尺,固定于该上方三轴位移机构;以及一控制器,电性连接于该数据库、该影像撷取装置及该三轴光学尺。 【当前权利人】京隆科技(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州工业园区凤里街168号 【专利权人类型】有限责任公司(中外合资) 【统一社会信用代码】913205947424732458 【被引证次数】12 【被自引次数】2.0 【被他引次数】10.0 【家族被引证次数】12

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