【摘要】本实用新型公开了一种可持续正压无针连接组件，包括连接件、与连接件配合使用的持续正压件，所述持续正压件包括可胀缩的胶管、与胶管连通的毛细管，所述胶管顶端设有单向阀接头，所述胶管与毛细管形成与连接件内部的液体通道相连通的药液通路，所述药
【摘要】 本实用新型公开了一种微粒外物清除装置，包括一水平轨道，两根支架及至少一个吹风除尘装置，所述两根支架与水平轨道垂直，两根支架分别与水平轨道的两端连接，所述支架可连接在设备上，并可沿垂直方向滑动；所述吹风除尘装置与水平轨道连接，并可在沿水平轨道滑动。该微粒外物清除装置固定在半导体产品生产设备上，吹风除尘装置可沿水平和垂直两个方向滑动，从而可以对半导体产品生产设备上的产品的不同位置进行进行吹起，将产品表面的微粒吹离，从而降低产品的不良率。 【专利类型】实用新型 【申请人】颀中科技(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215000 江苏省苏州市工业园区凤里街168号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020589771.6 【申请日】2010-11-03 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201868388U 【公开公告日】2011-06-15 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201868388U 【授权公告日】2011-06-15 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/00; B08B5/02 【发明人】陈秀龙 【主权项内容】一种微粒外物清除装置，其特征在于：包括一水平轨道，两根支架及至少一个吹风除尘装置，所述两根支架与水平轨道垂直，两根支架分别与水平轨道的两端连接，所述支架可连接在设备上，并可沿垂直方向滑动；所述吹风除尘装置与水平轨道连接，并可在沿水平轨道滑动。。 【当前权利人】颀中科技(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市工业园区凤里街168号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】91320594762849748G 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2
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