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炉管用石英晶舟专利

时间:2026-07-03    作者:admin 点击: ( 1 ) 次

【摘要】 本实用新型公开了一种炉管用石英晶舟,晶舟上设有多个晶圆槽,炉管用石英晶舟的左右两侧和前后端设有数根防护石英管。由于在晶舟的左右两侧和前后端均设有数根防护石英管,因此在操作时可有效防止阻挡工治具撞入石英晶舟内,保护石英晶舟内晶圆,降低晶圆损伤与报废的风险,提高产品质量,节约生产成本。 【专利类型】实用新型 【申请人】颀中科技(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215000 江苏省苏州市工业园区凤里街168号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020589773.5 【申请日】2010-11-03 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201845747U 【公开公告日】2011-05-25 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201845747U 【授权公告日】2011-05-25 【授权公告年份】2011.0 【发明人】陈秀龙 【主权项内容】一种炉管用石英晶舟,所述晶舟上具有多个晶圆槽,其特征在于:所述炉管用石英晶舟的左右两侧设有数根防护石英管,所述防护石英管呈阶梯状排列。 【当前权利人】颀中科技(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市工业园区凤里街168号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】91320594762849748G

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