【摘要】 本实用新型涉及一种AFM的重定位系统，包括PC机、微控制器、光信号处理电路模块、高压驱动器和操作平台，PC机通过线路连接微控制器，微控制器与PC机的连接线路上并联针尖偏移前馈补偿电路模块，微控制器通过线路分别连接第一A/D转换模块、第二A/D转换模块、D/A转换模块和鲁棒控制器，第一A/D转换模块通过线路连接光信号处理电路模块，D/A转换模块通过线路连接高压驱动器，第二A/D转换模块通过线路连接位移信号处理电路模块。本实用新型有益效果：采用鲁棒控制器、探针针尖偏移量前馈补偿和压电陶瓷扫描器组合控制方式，使系统仍能保持预期的性能，重复定位精确度高，速度快，具有良好的跟踪能力和重定位效果。 【专利类型】实用新型 【申请人】苏州海兹思纳米科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215000 江苏省苏州市苏州工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼105 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020272000.4 【申请日】2010-07-27 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201773112U 【公开公告日】2011-03-23 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201773112U 【授权公告日】2011-03-23 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01Q10/06 【发明人】唐沈健; 孙鑫; 陈前春; 李立强 【主权项内容】一种AFM的重定位系统，包括PC机(1)、微控制器(2)、光信号处理电路模块(3)、高压驱动器(4)和操作平台(5)，其特征在于：所述PC机(1)通过线路连接微控制器(2)，微控制器(2)与PC机(1)的连接线路上并联针尖偏移前馈补偿电路模块(6)，所述微控制器(2)通过线路分别连接第一A/D转换模块(7)、第二A/D转换模块(8)、D/A转换模块(9)和鲁棒控制器(10)，第一A/D转换模块(7)通过线路连接光信号处理电路模块(3)，光信号处理电路模块(3)通过线路连接四象限光电探测器(11)，所述D/A转换模块(9)通过线路连接高压驱动器(4)，高压驱动器(4)通过线路连接压电陶瓷扫描器(12)，所述第二A/D转换模块(8)通过线路连接位移信号处理电路模块(13)，位移信号处理电路模块(13)通过线路连接电容传感器(14)，电容传感器(14)、压电陶瓷扫描器(12)、四象限光电探测器(11)均设置在操作平台(5)上。 【当前权利人】苏州海兹思纳米科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市苏州工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼105 【专利权人类型】外商投资企业 【统一社会信用代码】913205946865645552 【被引证次数】3 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】3

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