【摘要】 本发明揭示了一种能够通过多种定制光源和探测器组合、用户选择光路部件、添加外围辅助设备可以实现傅里叶光谱、透射光谱、反射光谱和太赫兹电子器件光电特性等多种测试功能的太赫兹光电特性测试系统，具有高信噪比、高分辨率、强扩展性、低成本等优点，可以广泛适用于太赫兹技术研究、新材料研究、环境检测和生物医学分析。该发明对光谱和光电响应测试系统的光路、电路和控制进行了优化设计和系统集成，设计了紧凑合理的光学、机械和真空腔结构，采用了计算机控制的精确机械扫描和数据采集，最终可以实现使用多种不同光源和探测器组合、测试分析材料与太赫兹光源和探测器等核心器件的太赫兹光电特性的目的。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】215125 江苏省苏州市工业园区若水路398号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201010124470.0 【申请日】2010-03-16 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101782432B 【公开公告日】2011-04-06 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101782432B 【授权公告日】2011-04-06 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01J3/28; G01N21/59; G01R31/00 【发明人】秦华; 刘宏欣; 张志鹏; 张宝顺 【主权项内容】通用太赫兹光谱光电测试系统，其特征在于包括设于系统密封腔1内的如下模块：可见光输出模块，包括按光路依次设置的激光器2、反射镜3、可见光窗口4、准直光阑5和旋转反射镜6，利用可见光调整整个系统的光路；太赫兹波输出模块，包括离轴非球面反射镜7、斩波器8、直线导轨9、离轴非球面反射镜10、太赫兹输入窗口11、离轴非球面反射镜12、光阑13和太赫兹源14，用于向系统密封腔1输出光通量可调的太赫兹波，并输出斩波器8调制后的太赫兹波；干涉模块，包括太赫兹分束器15、可见光分束器16、静反射镜17、电动位移平台19及组装于其上的动反射镜18，用于将入射的可见光或太赫兹波形成干涉；透射样品模块，包括离轴非球面反射镜23、样品架24、样品仓25和离轴非球面反射镜26，用于对样品进行透射谱测量的水平方向和垂直方向位置控制；探测模块，包括可见光探测器20、直线导轨21、反射镜22、反射镜27、太赫兹输出窗口28、离轴非球面反射镜29和太赫兹探测器30，用于分别探测可见光、太赫兹源输出的太赫兹波和干涉调制后的太赫兹波；以及与探测模块信号相连的控制模块，包括电学端口31和计算机及软件系统32，提供系统中各部件的电压、电流和交互通信信号及控制各零部件的工作情况，并对探测结果进行计算分析和显示。 【当前权利人】中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 【当前专利权人地址】江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号 【统一社会信用代码】12100000717826387T 【引证次数】6.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】18

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