【摘要】 本实用新型涉及一种用于湿制程设备中的输送装置。该输送装置包括上输送装置和下输送装置，上输送装置包括上滚轴、套设在所述上滚轴上并可沿垂直于上滚轴轴芯线方向自由移动的多个上滚轮、固定在所述上滚轴上用于定位多个上滚轮的多个定位装置，所述定位装置成对设置在每个上滚轮的两端部，所述上滚轮间隙配合固定在所述定位装置上。在工件水平(或接近水平)传动的过程中，所被输送的工件能够受到一定的由上滚轮的重力产生的压力，从而紧贴在下输送装置上实现平稳输送。这样，在下滚轮单边驱动或上下滚轮双边驱动的情况下，均能确保不会出现工件停止前进或偏移的问题。 【专利类型】实用新型 【申请人】库特勒自动化系统(苏州)有限公司; 无锡尚德太阳能电力有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214000 江苏省苏州市兴吴路71号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020200306.9 【申请日】2010-05-24 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201966189U 【公开公告日】2011-09-07 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201966189U 【授权公告日】2011-09-07 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/677; H01L31/18 【发明人】贺瑞勇; 施利君; 黄勇 【主权项内容】一种用于湿制程设备中的输送装置，所述输送装置包括上输送装置和下输送装置，所述上输送装置包括上滚轴、套设在所述上滚轴上并可沿垂直于上滚轴轴芯线方向自由移动的多个上滚轮、固定在所述上滚轴上用于定位多个上滚轮的多个定位装置，其特征是，所述定位装置成对设置在每个上滚轮的两端部，所述上滚轮间隙配合固定在所述定位装置上。 【当前权利人】库特勒自动化系统(苏州)有限公司; 无锡尚德太阳能电力有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市兴吴路71号; 江苏省无锡市新吴区新华路9号、16号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股); 有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】913205007344058670; 9132021372655423XN 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2

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