【摘要】 本实用新型涉及一种用于均匀出气的气体分配器，其一般设置在化学气相淀积设备上的进气段，用来为反应室提供均匀一致的进气。该气体分配器包括相互连通的至少一路进气管和二个以上密闭气体分配腔，所述进气管和气体分配腔沿气流运行方向依次固定连接，相邻两个气体分配腔之间藉一连接壁相互间隔，且所述连接壁面上分布一个以上配气孔。通过调整各体分配腔的高度或长度、各连接壁面上配气孔的排布位置和孔径大小，可使最终的出气流速相等。本实用新型结构简单，易于加工，便于组装维护，成本低廉，可为反应室提供均匀一致的进气，保证化学气相淀积设备进气的均匀性和一致性，利于薄膜的均匀生长。 【专利类型】实用新型 【申请人】中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】215125 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020547502.3 【申请日】2010-09-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201826012U 【公开公告日】2011-05-11 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201826012U 【授权公告日】2011-05-11 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C16/455 【发明人】王国斌; 邱凯; 朱建军; 张永红 【主权项内容】一种用于均匀出气的气体分配器，其特征在于：所述气体分配器包括相互连通的至少一路进气管和二个以上密闭气体分配腔，所述进气管和气体分配腔沿气流运行方向依次固定连接，相邻两个气体分配腔之间藉一连接壁相互间隔，且所述连接壁面上分布一个以上配气孔。 【当前权利人】中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 【当前专利权人地址】江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号 【统一社会信用代码】12100000717826387T 【被引证次数】2 【被自引次数】2.0 【家族被引证次数】2

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