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一种避免在压力表中产生沉积物的冷却装置及机台专利

时间:2026-07-03    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及一种避免在压力表中产生沉积物的冷却装置及机台,该冷却装置包括:位于化学气相沉积机台的排气管和压力表之间的连接管中的冷却水管,以及与所述冷却水管连接的进水管和出水管。该机台中包括该冷却装置。本实用新型提出的冷却装置及使用该冷却装置的机台,在气体到达压力表之前使用了冷却水管对排放尾气中的尾气进行冷却过滤,因此,避免了在压力表内产生沉积薄膜,提高了压力表的使用效率,延长了压力表的寿命。 【专利类型】实用新型 【申请人】和舰科技(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215025 江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020540488.4 【申请日】2010-09-25 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201852673U 【公开公告日】2011-06-01 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201852673U 【授权公告日】2011-06-01 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01L23/28 【发明人】胡生强 【主权项内容】一种避免在压力表中产生沉积物的冷却装置,其特征在于,包括:位于化学气相沉积机台的排气管和压力表之间的连接管中的冷却水管,以及与所述冷却水管连接的进水管和出水管。 【当前权利人】和舰科技(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 【专利权人类型】有限责任公司(中外合资) 【统一社会信用代码】91320594732513557J

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