【摘要】 。本实用新型涉及一种工件用平面度测量装置,包括有底座,其特点是:本实用新型所采用的底座上设置有基准平板,该基准平板上分布有预留孔。同时,在预留孔内分布有位移传感器。并且,该位移传感器的尾端连接有处理组件。由此,通过基准平板与位移传
【摘要】 本发明公开了一种检测炉管温度分布的方法,包括:步骤1:准备电阻Rs控片;步骤2:将所准备的Rs控片放入炉管中进行热处理;步骤3:测量热处理后Rs控片的Rs结果;步骤4:根据所测量的Rs结果,得到炉管的温度分布状况。本发明利用Rs分布检测法,能够获得炉管的整个区域温度分布状况,从而用以调整晶片的加工,提高产品的质量。 【专利类型】发明申请 【申请人】和舰科技(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215025 江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201010002836.7 【申请日】2010-01-18 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102130029A 【公开公告日】2011-07-20 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】H01L21/66 【发明人】刘光 【主权项内容】一种检测炉管温度分布的方法,其特征在于,包括:步骤1:准备电阻Rs控片;步骤2:将所准备的Rs控片放入炉管中进行热处理;步骤3:测量热处理后Rs控片的Rs结果;步骤4:根据所测量的Rs结果,得到炉管的温度分布状况。 【当前权利人】和舰科技(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 【专利权人类型】有限责任公司(中外合资) 【统一社会信用代码】91320594732513557J 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1
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