【摘要】 本实用新型公布了一种分选机处理晶圆片的系统，包括：晶圆片检测装置、分选机数据转换单元、分选机控制装置和分选机执行装置，其中晶圆片检测装置的输出端接分选机数据转换单元的输入端，分选机控制装置与分选机数据转换单元双向通信，分选机控制装置的输出端接分选机执行装置的输入端。本实用新型简化了生产工艺、设备简单，检测精度高。 数据由整理 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡春辉科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214024 江苏省无锡市南湖大道789号C幢三楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020622826.9 【申请日】2010-11-25 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201940377U 【公开公告日】2011-08-24 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201940377U 【授权公告日】2011-08-24 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B07C5/34 【发明人】张春华; 张馨月 【主权项内容】一种分选机处理晶圆片的系统，其特征在于包括：晶圆片检测装置、分选机数据转换单元、分选机控制装置和分选机执行装置，其中晶圆片检测装置的输出端接分选机数据转换单元的输入端，分选机控制装置与分选机数据转换单元双向通信，分选机控制装置的输出端接分选机执行装置的输入端。 【当前权利人】无锡春辉科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市南湖大道789号C幢三楼 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2

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