【摘要】 本发明为一种用于晶圆磨床的对刀装置。其能提高对刀的精准度、提高对刀装置的通用性。其包括传感器、传感器座，所述传感器座通过侧臂连接连接块，所述连接块连接转动轴，所述转动轴连接下部的驱动机构，所述驱动机构连接于支架，其特征在于：所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内，所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂，所述连接块支承于在转动轴的轴向上可调节的轴向调节结构，所述轴向调节机构连接所述转动轴。 【专利类型】发明授权 【申请人】无锡机床股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214061 江苏省无锡市滨湖区湖滨路11号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010121135.5 【申请日】2010-03-10 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101780654B 【公开公告日】2011-11-09 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101780654B 【授权公告日】2011-11-09 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B23Q15/22; B24B192/20; B24B41/00 【发明人】朱凯旋; 黄国庆; 田军 【主权项内容】一种用于晶圆磨床的对刀装置，其包括传感器、传感器座，所述传感器座通过侧臂连接连接块，所述连接块连接转动轴，所述转动轴连接下部的驱动机构，所述驱动机构连接于支架，其特征在于：所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内，所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂，所述连接块支承于在转动轴的轴向上能够调节的轴向调节机构，所述轴向调节机构连接所述转动轴；所述传感器座带有导杆安装法兰，所述导杆安装法兰均布有导杆定位孔，所述侧臂上端面开有与所述导杆定位孔对应的弹簧定位孔，所述带弹簧的导杆具体包括导杆、弹簧，所述导杆的直杆部分贯穿所述传感器的导杆定位孔，所述导杆的上部通过螺母紧固于所述导杆安装法兰上端面；所述导杆的直杆外端套装有所述弹簧，所述弹簧下端面低于所述导杆的下端面，所述弹簧的上端顶装于所述导杆安装法兰下端面，所述弹簧的下端顶装于所述弹簧定位孔的最深处；所述弹簧定位孔为通孔，所述侧臂的下端面通过螺钉紧固连接有支撑片，所述支撑片环绕所述传感器，所述弹簧的下端顶装于所述支撑片的上端面。 【当前权利人】无锡机床股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市滨湖区湖滨路11号 【专利权人类型】股份有限公司(非上市) 【统一社会信用代码】91320200135893133W 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】3

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