【摘要】一种断路器的温度补偿装置，包括旋钮、补正板、旋臂、压缩弹簧以及固定座；补正板与旋臂活动连接，旋臂底部的圆柱和旋钮底部的圆柱分别插入固定座上的第一圆孔和第二圆孔内固定；旋钮靠近底端处成型一个凸轮；旋臂的一端与固定座之间装有压缩弹簧，旋
【摘要】 本实用新型涉及MEMS技术，尤其是一种电容式微型麦克风。其包括基板；所述基板上部设有凹槽；所述基板与凹槽的表面均淀积有绝缘支撑层，凹槽内设有振膜；基板对应于淀积绝缘支撑层的表面设置固定连接的背极板，所述背极板与振膜间形成电容结构；所述背极板上设置有若干声孔，所述声孔与凹槽相连通；基板对应于设置振膜的下部设有声腔，所述声腔的深度从基板对应于设置背极板的另一表面延伸到振膜。本实用新型结构实现操作简单、能满足小尺寸要求。 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡芯感智半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214100 江苏省无锡市滨湖区十八湾路288号梅园基康里湖景科技园10号225室 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020153745.9 【申请日】2010-04-09 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201750548U 【公开公告日】2011-02-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201750548U 【授权公告日】2011-02-16 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H04R19/04 【发明人】刘同庆; 沈绍群 【主权项内容】一种电容式微型麦克风，包括基板；其特征是：所述基板上部设有凹槽；所述基板与凹槽的表面均淀积有绝缘支撑层，凹槽内设有振膜；基板对应于淀积绝缘支撑层的表面设置固定连接的背极板，所述背极板与振膜间形成电容结构；所述背极板上设置有若干声孔，所述声孔与凹槽相连通；基板对应于设置振膜的下部设有声腔，所述声腔的深度从基板对应于设置背极板的另一表面延伸到振膜。 【当前权利人】无锡芯感智半导体有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市滨湖区十八湾路288号梅园基康里湖景科技园10号225室 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320211552506587A 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4
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