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一种带有通气阀的单晶炉副炉专利

时间:2026-06-20    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及一种带有通气阀的单晶炉副炉,属于单晶硅的生产制造设备领域。它包括上法兰(1)、炉体(2)和下法兰(3),所述上法兰(1)上设置有充气口(8),上法兰(1)用于连接上方籽晶提升装置(9),下法兰(2)用于连接下方隔离阀(4),所述炉体(2)下部设置有通气阀(6),通气阀(6)与炉体(2)内腔相连通。本实用新型一种带有通气阀的单晶炉副炉,其操作方便且易于副炉从隔离阀打开进而取出晶棒。 : 【专利类型】实用新型 【申请人】江阴市华英光伏科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214444 江苏省无锡市江阴市临港新城利港滨江西路1018号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201020666406.0 【申请日】2010-12-18 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201915166U 【公开公告日】2011-08-03 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201915166U 【授权公告日】2011-08-03 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C30B15/00; C30B29/06 【发明人】査建洪; 施宇峰; 査如德 【主权项内容】一种带有通气阀的单晶炉副炉,它包括上法兰(1)、炉体(2)和下法兰(3),所述上法兰(1)上设置有充气口(8),上法兰(1)用于连接上方籽晶提升装置(9),下法兰(2)用于连接下方隔离阀(4),其特征在于:所述炉体(2)下部设置有通气阀(6),通气阀(6)与炉体(2)内腔相连通。 【当前权利人】江阴市华英光伏科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市江阴市临港新城利港滨江西路1018号

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