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一种制作多晶硅绒面的方法及腐蚀液专利

时间:2026-06-19    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明提供一种用于制作多晶硅绒面的腐蚀液,包括以下浓度的成分:2摩尔/升~5摩尔/升的HF、5摩尔/升~15摩尔/升的HNO3、0.2摩尔/升~1摩尔/升的亚硝酸盐、0.1摩尔/升~0.5摩尔/升的H2SiF6和余量水。本发明在HF和HNO3中添加NaNO2和H2SiF6作为稳定剂,实验结果表明,与现有技术相比,使用本发明提供的腐蚀液制备的多晶硅绒面结构可以有效地降低对太阳光的反射率。 【专利类型】发明申请 【申请人】江阴浚鑫科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214443 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201010519969.1 【申请日】2010-10-26 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102181936A 【公开公告日】2011-09-14 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】C30B33/10 【发明人】李建飞; 汪琴霞; 黄镇; 郭建东; 樊选东 【主权项内容】1.一种用于制作多晶硅绒面的腐蚀液,包括以下浓度的成分:HF 2摩尔/升~5摩尔/升;HNO3 5摩尔/升~15摩尔/升;亚硝酸盐 0.2摩尔/升~1摩尔/升;H2SiF6 0.1摩尔/升~0.5摩尔/升;余量水。 【当前权利人】江阴浚鑫科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号 【引证次数】6.0 【被引证次数】3 【他引次数】6.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】3

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