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硅片制绒用片架专利

时间:2026-06-18    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型实施例公开了一种硅片制绒用片架,包括:设置有第一卡梳(21)的第一侧壁(2);与所述第一侧壁(2)相对,且设置有与所述第一卡梳(21)配合的第二卡梳(31)的第二侧壁(3)。本实用新型实施例中提供的硅片制绒用片架中,改变了现有的片架在侧壁上设置通槽的结构形式,在第一侧壁上设置第一卡梳,在第二侧壁上设置第二卡梳,第一卡梳和第二卡梳在制绒的过程中将硅片的部分边缘卡住,与现有的通槽的结构形式相比,减小了硅片边缘与片架的接触面积,增大了硅片边缘与溶液的接触面积,使得制绒更加充分,减少了边缘色斑,提高了硅片制绒的质量。 【专利类型】实用新型 【申请人】江阴浚鑫科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214443 江苏省江阴市申港镇镇澄路1011号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201020601160.9 【申请日】2010-11-10 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201853732U 【公开公告日】2011-06-01 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201853732U 【授权公告日】2011-06-01 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/18; C30B33/10 【发明人】李建飞; 黄镇; 杨征; 樊选东; 郭建东 【主权项内容】一种硅片制绒用片架,其特征在于,包括:设置有第一卡梳(21)的第一侧壁(2);与所述第一侧壁(2)相对,且设置有与所述第一卡梳(21)配合的第二卡梳(31)的第二侧壁(3)。 【当前权利人】中建材浚鑫科技股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1

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