【摘要】 本发明涉及一种硅片切割废砂浆回收循环利用方法。其特征在于：所述方法包括如下工艺步骤：步骤一、预处理：按原浆与水均匀搅拌，采用板框式压滤机进行固液分离；步骤二、PEG的回收：在过滤后的液体中加入脱色剂，然后进行板框过滤，所得滤液经离子交换树脂/多效蒸馏器、减压蒸馏、精馏、精滤，得PEG成品；步骤三、碳化硅的回收：将过滤后的滤饼与水按1 : 3~4配合，搅拌形成浆料，然后浆料经过多级旋流器分离、酸洗、旋流器分离、带式过滤机过滤、干燥后即得碳化硅成品。本发明方法，分离量大、回收率高、回收的PEG和碳化硅质量好、节能环保。 【专利类型】发明申请 【申请人】江阴浩博科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214407 江苏省无锡市江阴市徐霞客镇璜塘工业园区富业路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201010571211.2 【申请日】2010-12-03 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102071092A 【公开公告日】2011-05-25 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102071092B 【授权公告日】2012-12-19 【授权公告年份】2012.0 【发明人】沈志伟 【主权项内容】1. 一种硅片切割废砂浆回收循环利用方法，其特征在于：所述方法包括如下工艺步骤：步骤一、预处理：砂浆搅拌，按原浆与水1 : 0.35~0.55的比例进行有效均匀搅拌，同时用蒸汽对砂浆加温至50-60℃；然后采用板框式压滤机进行固液分离；步骤二、PEG的回收：在过滤后的液体中加入脱色剂，同时对液体进行加温，温度控制在55-65℃，搅拌35-45分钟，然后进行板框过滤，所得滤液经离子交换树脂进行交换；然后将经过离子交换的液体经过多效蒸馏，将液体中的水分降低至15-20%，然后经过减压蒸馏，将水分控制在5%以下，再经过精馏，将水分控制在0.5%以下，最后采用滤芯精度为0.05-0.2μm的精密过滤器经行过滤，得PEG成品；步骤三、碳化硅的回收：将过滤后的滤饼与水按1 : 3~4配合，搅拌形成浆料，然后浆料经过多级旋流器分离，去除游离碳、硅粉和5微米以下的碳化硅颗粒；分离后的固体再经酸洗，去除金属氧化物；然后再经过旋流器分离、带式过滤机过滤、干燥后即得碳化硅成品。 【当前权利人】江苏浩博新材料股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市江阴市徐霞客镇璜塘工业园区富业路 【被引证次数】24 【被自引次数】1.0 【被他引次数】23.0 【家族被引证次数】24

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