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一种应用于太阳能电池的优化钝化方法专利

时间:2026-06-18    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明实施例公开了一种应用于太阳能电池的优化钝化方法,包括:将插有硅片的石墨框进行预加热;将进行过预加热的石墨框进入工艺腔,工艺腔只通入氨气;往所述工艺腔同时通入氨气和硅烷;石墨框进冷却腔进行冷却;将石墨框从冷却腔出,卸片。本发明实施例提供的优化钝化方法,在常规工艺的沉积步骤之前进行氨气的预沉积,使得氨气能够很好地覆盖样品,从而能够充分发挥H的体钝化功能,进而提高太阳能电池的转换效率。 【专利类型】发明申请 【申请人】江阴浚鑫科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214443 江苏省江阴市申港镇镇澄路1011号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201010570347.1 【申请日】2010-12-02 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102185010A 【公开公告日】2011-09-14 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】H01L31/18 【发明人】孙伟; 罗军; 孙林杰; 韩少鹏; 麻晓园 【主权项内容】一种应用于太阳能电池的优化钝化方法,其特征在于,包括:将插有硅片的石墨框进行预加热;将进行过预加热的石墨框进入工艺腔,工艺腔只通入氨气;往所述工艺腔同时通入氨气和硅烷;石墨框进冷却腔进行冷却;将石墨框从冷却腔出,卸片。 【当前权利人】江阴浚鑫科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省江阴市申港镇镇澄路1011号 【引证次数】6.0 【被引证次数】1 【他引次数】6.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】1

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