【摘要】 本发明是涉及一种从硅片切割废砂浆中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法，砂浆经常温下搅拌后，进行固液分离，获得下液流和上液流，下液流进入带式过滤机，得到经过清洗的碳化硅，使用碱液漂洗，打入离心分离机后，再经带式过滤机清洗后，使用草酸漂洗，再打入三级水力旋流分离器，得到的碳化硅下液流进入第三带式过滤机，清洗过的碳化硅经传送带进入烘干机，干燥后的碳化硅经风力分级分级、振动筛筛除大颗粒杂质即可包装，砂浆分离后得到的液体部分，进行固液分离，液体中加入脱色剂和助滤剂，进入压滤机，分离出的液体经过袋式过滤器后，进入离子交换系统，再经蒸发装置脱去水分，即得到聚乙二醇；本发明避免了砂浆直接排放对环境造成的污染，同时还有效降低了硅片切割时的生产成本。 【专利类型】发明申请 【申请人】薛荣秀 【申请人类型】个人 【申请人地址】214007 江苏省无锡市南长区井亭新村66号404室 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】梁溪区 【申请号】CN201010528153.5 【申请日】2010-11-02 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102031193A 【公开公告日】2011-04-27 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102031193B 【授权公告日】2013-12-25 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】C10M175/00; C01B31/36 【发明人】薛荣秀 【主权项内容】一种从硅片切割废砂浆中回收碳化硅和聚乙二醇切削液的方法，包括以下步骤：1)将硅片切割废砂浆搅拌均匀，加入含量在1‑35％的聚乙二醇溶液和水，控制温度在25‑65℃，压力在0.5‑3bar下，通过旋流分离器进行分离，一部分液体从旋流分离器上端物料出口出得到上液流，另一部分液体从旋流分离器下端物料出口出得到下液流；2)将步骤1)得到的下液流进行真空过滤，并用水漂洗碳化硅，将得到的滤饼置入浓度在0.5‑40％，温度为25‑80℃的碱液中进行反应，反应0.5‑5小时；3)将步骤2)经过碱液反应的碳化硅流，通过离心机离心分离，得到硅酸钠和含有杂质的碳化硅，将含有杂质的碳化硅打入真空带式过滤机，用清水漂洗，得到碳化硅滤饼；4)将步骤3)得到的碳化硅滤饼置入浓度在0.5‑40％，温度25‑80℃的酸液中反应0.5‑5小时，打入旋流分离器中，压力保持在0.5‑3bar，于得到的上液流中加入碱，将得到的下液流通过真空过滤，并用清水清洗，真空吸去水分，得到水分含量在5‑35％的滤饼；5)将步骤4)得到的滤饼，加热烘干，温度控制在80‑130℃，加热2‑10小时，使碳化硅含水率低于0.1％，接着利用传输带送入风力分级机中进行粒径控制，然后通过20‑60um振动筛筛选，筛出大颗粒杂质后得成品碳化硅；6)于步骤1)分离得到的上液流，进行固液分离，得到的液体，控制聚乙二醇含量在15％‑40％之间，在25‑60℃的条件下，于其中加入脱色剂和助滤剂，反应30‑120分钟后，进行固液分离；7)将步骤6)分离得到的液体过滤后，进入离子交换系统，降低电导率，之后再进行蒸发，水分控制在0.5％以下，即得到成品聚乙二醇切削液。 【当前权利人】钱丽君 【引证次数】6.0 【被引证次数】20 【他引次数】6.0 【被他引次数】20.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】20

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