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一种硅片装片装置专利

时间:2026-06-17    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型公开了一种硅片装片装置,包括一个底座,在底座上部设有两块采用铝或者铝合金制成的支撑块,所述的两支撑块相互垂直连接,夹角开口方向向上,垂直度为±0.1度,支撑块表面平整度为0.01mm。本实用新型使硅片装片更加整齐,撞击程度降低,减小了碎片率,缩短了作业时间,提高了工作效率,使刻蚀后的效果更佳。 【专利类型】实用新型 【申请人】昌盛光伏科技(中国)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214112 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区梅村锡贤路125号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】梁溪区 【申请号】CN201020620249.X 【申请日】2010-11-24 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201877456U 【公开公告日】2011-06-22 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201877456U 【授权公告日】2011-06-22 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/18 【发明人】陈桂栋; 华飞 【主权项内容】一种硅片装片装置,其特征在于:包括一个底座(1),在底座(1)上部设有两支撑块(2),所述的两支撑块(2)相互垂直连接,其夹角开口方向向上。 【当前权利人】昌盛光伏科技(中国)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区梅村锡贤路125号 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳法人独资) 【统一社会信用代码】91320214682163172E

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