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防腐蚀多晶硅还原炉专利

时间:2026-06-16    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及一种防腐蚀多晶硅还原炉,包括设置在底座上的还原炉壳体,所述还原炉壳体包括外壳体和内壳体,外壳体和内壳体之间存在空隙;在外壳体的顶部设有冷却水出口,外壳体的下端设有冷却水进口;在还原炉壳体的底部设有进气管和出气管;特征是:在所述内壳体的内表面均匀涂覆有碳化硅涂层。本实用新型通过在多晶硅还原炉内壁附着结合牢固、均匀致密的碳化硅(SiC)层,达到降低多晶硅还原炉内壁的腐蚀,并提高多晶硅产品的质量的目的。 : 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡中彩科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214183 江苏省无锡市惠山区玉祁镇工业集中区 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】惠山区 【申请号】CN201020236510.6 【申请日】2010-06-24 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201746332U 【公开公告日】2011-02-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201746332U 【授权公告日】2011-02-16 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C01B33/03 【发明人】周大荣 【主权项内容】一种防腐蚀多晶硅还原炉,包括设置在底座(2)上的还原炉壳体(1),所述还原炉壳体(1)包括外壳体和内壳体,外壳体和内壳体之间存在空隙;在外壳体的顶部设有冷却水出口(6),外壳体的下端设有冷却水进口(5);在还原炉壳体(1)的底部设有进气管(3)和出气管(4);其特征是:在所述内壳体的内表面均匀涂覆有碳化硅涂层(7)。 【当前权利人】无锡中彩科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市惠山区玉祁镇工业集中区 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】913202007945758411

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