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硅棒垫专利

时间:2026-06-16    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型公开一种硅棒垫,其包括垫子本体以及设置于垫子本体上的多数圆球形支撑体,所述垫子本体上被分割成多数方形单元格,且所述每个单元格的四角均分别斜向上延伸有连接支撑体的连接部,所述两个相邻的连接部之间均开有通孔,所述垫子本体、支撑体以及连接部均由丁晴橡胶制成,上述硅棒垫特有的弹性支撑体球面直接与硅棒的表面相接触,而硅渣从相邻两个连接部之间的通孔掉入硅棒垫表面,从而保护已经磨削好的硅棒表面不受伤害,不仅结构精巧,质量轻,操作方便,而且可以很好保护硅棒表面,大大提高了硅片的良品率。 【专利类型】实用新型 【申请人】高佳太阳能股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214174 江苏省无锡市惠山区堰桥镇堰丰路168号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】惠山区 【申请号】CN201020557310.0 【申请日】2010-10-12 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201853729U 【公开公告日】2011-06-01 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201853729U 【授权公告日】2011-06-01 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/18; H01L21/683 【发明人】翁尧生; 曾静; 杨乐; 何勤忠 【主权项内容】一种硅棒垫,其包括垫子本体,其特征在于:所述垫子本体的表面设置有多数支撑体,所述支撑体的上表面为平滑曲面结构。 【当前权利人】高佳太阳能股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市惠山经济开发区堰桥配套区堰丰路168号 【专利权人类型】股份有限公司(非上市) 【统一社会信用代码】91320200776866645H

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