【摘要】本实用新型公开一种自动化组合机半固化片分离设备结构，半固化片暂存升降台上设置有多个分离设备，分离设备包括分离夹子组和分离吸盘组，半固化片暂存升降台上对应分离设备的方向设置吹气装置；分离夹子组位于暂存升降台旁边，分离吸盘组平行位于分离
【摘要】 本实用新型是对半导体芯片制造过程中扩散工序所用的石英舟或碳化硅舟传递及存放装置所做的改进，它包括托面、托底、石英柱，在所述托底与托面中间设置隔热面。本实用新型提供的石英舟托结构设计合理、实用性能强，本舟托所运用的材质为均质石英，便于清洗，减少这一环节对石英舟或碳化硅舟造成的沾污，从而减少对扩散系统的沾污。 【专利类型】实用新型 【申请人】宜兴市环洲微电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214204 江苏省无锡市宜兴市环科园南岳路南岳工业园内 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】宜兴市 【申请号】CN201020663563.6 【申请日】2010-12-16 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201887030U 【公开公告日】2011-06-29 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201887030U 【授权公告日】2011-06-29 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/677; H01L21/683 【发明人】伍林; 潘建英; 左亚兵 【主权项内容】一种石英舟托，包括托面(1)、托底(4)、石英柱(2)，其特征在于：在所述托底(4)与托面(1)中间设置隔热面(3)。 【当前权利人】宜兴市环洲微电子有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市宜兴市环科园南岳路南岳工业园内 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320282723538576D 【被引证次数】2 【被自引次数】1.0 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】2
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