【摘要】本实用新型公开了一种柱形工作台压力机,属于压力机技术领域。该柱形工作台压力机包括机身及安装在机身上的柱形工作台,柱形工作台的后端固定连接有水平轴,水平轴的后端支撑在轴套中,轴套固定在机身上;水平轴的后端面与丝杠的前端面固定连接,丝杠
【摘要】 本实用新型公开了一种用于多晶硅锭制备的复合涂层石英坩埚,包括基体、中间过渡层、第二中间层和内表面涂层,所述基体的内壁设有中间过渡层,中间过渡层上设有第二中间层,第二中间层上设有内表面涂层。本实用新型是根据石英坩埚在使用过程中高温加热的步骤和煅烧时间的长短,采用具有不同热学性能的涂层材料在石英坩埚基体上分层次进行涂层,来提高石英坩埚的抗侵蚀能力,达到降低硅与石英坩埚反应强度的目的。 【专利类型】实用新型 【申请人】扬州华尔光电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225600 江苏省高邮市经济开发区长江路科技创新中心 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请人区县】高邮市 【申请号】CN201020534693.X 【申请日】2010-09-16 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201842894U 【公开公告日】2011-05-25 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201842894U 【授权公告日】2011-05-25 【授权公告年份】2011.0 【发明人】杨业林; 陈宝昌 【主权项内容】一种用于多晶硅锭制备的复合涂层石英坩埚,其特征在于:包括基体(1)、中间过渡层(2)、第二中间层(3)和内表面涂层(4),所述基体(1)的内壁设有中间过渡层(2),中间过渡层(2)上设有第二中间层(3),第二中间层(3)上设有内表面涂层(4)。 【当前权利人】江苏华尔石英材料股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市高邮经济开发区长江路 【被引证次数】6 【被他引次数】6.0 【家族被引证次数】6
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