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一种多晶硅铸锭用涂层石英坩埚专利

时间:2026-06-14    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭用涂层石英坩埚,包括气泡复合层、真空层和涂层,所述石英坩埚的内壁上设置有气泡复合层,气泡复合层上设置有真空层,真空层上设置有氢氧化钡涂层。本实用新型产品具有较强耐高温性能,可有效阻隔硅原料和石英材料之间的化学反应。 【专利类型】实用新型 【申请人】扬州华尔光电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225600 江苏省高邮市甘垛镇工业园 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请人区县】高邮市 【申请号】CN201020505604.9 【申请日】2010-08-25 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201762478U 【公开公告日】2011-03-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201762478U 【授权公告日】2011-03-16 【授权公告年份】2011.0 【发明人】池金林; 杨业林 【主权项内容】一种多晶硅铸锭用涂层石英坩埚,其特征在于:包括气泡复合层(1)、真空层(2)和涂层(3),所述石英坩埚的内壁上设置有气泡复合层(1),气泡复合层(1)上设置有真空层(2),真空层(2)上设置有氢氧化钡涂层(3)。 【当前权利人】江苏华尔石英材料股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市高邮经济开发区长江路 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE

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