【摘要】一种烧结台车用篦条，涉及冶金机械烧结台车技术设备领域，尤其涉及篦条的结构领域，包括篦条本体，所述篦条本体的两个侧面上分别固定连接至少一个凸台，篦条本体的下端两侧分别固定连接钩挂爪脚，所述两个钩挂爪脚之间的篦条本体的下端面为向外凸出的
【摘要】 用于干法刻蚀的蓝宝石衬底表面加工前期生产方法，属于半导体技术领域，本发明先在蓝宝石衬底上利用光刻技术制备光刻图形，再利用真空蒸镀设备在蓝宝石衬底上蒸镀多层金属结构A/Ni/B/Ni/C/Ni……作为刻蚀蓝宝石衬底的掩膜层，然后将蓝宝石衬底放入与所用光刻胶相对应的去胶剂中，进行光刻胶剥离工艺，完成金属掩膜结构的制备。制成的半成品——具有金属掩膜结构的蓝宝石衬底可以满足对蓝宝石衬底进行各种深度尺寸的干法刻蚀的工艺需求，可通过干法刻蚀技术进行表面加工。。： 【专利类型】发明申请 【申请人】南京大学扬州光电研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】225009 江苏省扬州市开发区邗江中路119号 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请人区县】邗江区 【申请号】CN201010568673.9 【申请日】2010-12-02 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102110592A 【公开公告日】2011-06-29 【公开公告年份】2011 【发明人】陈鹏; 王栾井; 宋雪云; 谭崇斌; 徐峰; 徐洲; 吴真龙; 高峰 【主权项内容】用于干法刻蚀的蓝宝石衬底表面加工前期生产方法，其特征在于包括以下步骤：1)光刻：在蓝宝石衬底上采用光刻技术制备光刻图形；2)蒸镀：采用真空蒸镀设备在蓝宝石衬底上蒸镀金属结构掩膜层；所述金属掩膜层为以金属Ni为间隔层的A/Ni/B/Ni/C/Ni……金属结构层，其中，A、B、C……为Ti、Cr、Al、In、Ag、Au、Sn或Cu中的任意一种，所述金属结构层的层数为1~100层；3)剥离：将蓝宝石衬底放入去胶剂中，剥离光刻胶。 【当前权利人】南京大学扬州光电研究院 【当前专利权人地址】江苏省扬州市开发区邗江中路119号 【统一社会信用代码】12321000468833868T 【被引证次数】10 【被自引次数】1.0 【被他引次数】9.0 【家族被引证次数】10
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