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沉积舟专利

时间:2026-06-12    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 沉积舟涉及LTO膜加工专用的沉积舟。既能保证气体进入舟体中,又能提高舟体强度的。包括外部轮廓为半圆柱体形的上盖和下盖,所述上盖和下盖的柱面上均布若干圆形通孔。本实用新型将以往长方形的槽该为圆形的通气孔,这样即保证了LTO膜厚的均匀度,也由于在舟上开孔的面积相对减少而提高了舟强度,进而提高了其的使用寿命。 【专利类型】实用新型 【申请人】扬州杰利半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225008 江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请号】CN201020536544.7 【申请日】2010-09-19 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201793733U 【公开公告日】2011-04-13 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201793733U 【授权公告日】2011-04-13 【授权公告年份】2011.0 【发明人】邵伟祥; 裘立强 【主权项内容】沉积舟,包括外部轮廓为半圆柱体形的上盖和下盖,其特征在于,所述上盖和下盖的柱面上均布若干圆形通孔。 【当前权利人】扬州杰利半导体有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91321003689176902H 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2

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