【摘要】 本发明公开了一种适用于西门子工艺生产棒状多晶硅的反应器，其包括底盘和罩在所述底盘上的筒体，所述底盘上密集地设有多对硅芯座、至少一个进气口和至少一个排气口，硅芯座中心、进气口中心和排气口中心一起在所述底盘上构成中心点阵，所述中心点阵的至少一部分中心点与相邻中心点之间的距离都相等。优选至少一部分中心点的任意相邻的三个中心点构成正三角形。该反应器实现了更密集的硅芯布置，提高了还原炉内热能利用率，实现了更均匀的流场分布，从而提高了每炉的多晶硅产量、改善了产品表面质量，并降低了能耗。本发明还公开了包括上述反应器的系统。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏中能硅业科技发展有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路66号 【申请人地区】中国 【申请人城市】徐州市 【申请人区县】鼓楼区 【申请号】CN201010141882.5 【申请日】2010-04-08 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102134745A 【公开公告日】2011-07-27 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102134745B 【授权公告日】2013-07-10 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】C30B29/06; C30B28/14 【发明人】陈涵斌; 陈其国; 钟真武; 陈文龙 【主权项内容】一种用于生产多晶硅的反应器，其包括底盘和罩在所述底盘上的筒体，所述底盘上密集地设有多对硅芯座、至少一个进气口和至少一个排气口，硅芯座中心、进气口中心和排气口中心一起在所述底盘上构成中心点阵，其特征在于：所述中心点阵的至少一部分中心点与相邻中心点之间的距离都相等。 【当前权利人】新疆协鑫新能源材料科技有限公司 【当前专利权人地址】新疆维吾尔自治区昌吉回族自治州准东经济技术开发区红沙泉北工业区横四路东段 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳合资) 【统一社会信用代码】913203017849976109 【引证次数】8.0 【被引证次数】10 【自引次数】3.0 【他引次数】5.0 【被自引次数】2.0 【被他引次数】8.0 【家族引证次数】9.0 【家族被引证次数】14

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