【摘要】 一种具有多个外延反应腔的MOCVD系统，用于对放置在托盘上的若干衬底基片进行外延反应，包含一设置有机械手的传输腔，以及与传输腔连接的若干中转站和等于或大于两个的外延反应腔，该多个外延反应腔内可同时对衬底基片进行外延反应，通过机械自动化操作，不需要打开外延反应腔盖，即能实现外延反应腔里托盘的取放，不仅提高了系统的产能，还节约了外延反应腔冷却和换盘操作的时间，提高了设备的生产利用率。由于多个外延反应腔共用同一套传输腔、机械手等，节省了另外一套或几套相应的设备，降低了其设置成本和运行费用，也节约了这部分设备的安装场地。由于中转站同时具有预处理腔功能，可根据生产要求实现对托盘的预冷和预热处理，进一步提高生产效率。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏中晟半导体设备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省常州市金坛市金坛经济开发区华城路318号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201010231273.9 【申请日】2010-07-09 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102212877A 【公开公告日】2011-10-12 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102212877B 【授权公告日】2012-08-22 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】C30B25/02; C23C16/44; H01L21/205 【发明人】陈爱华; 金小亮; 孙仁君; 张伟 【主权项内容】一种具有多个外延反应腔的MOCVD系统，用于对放置在托盘(60)上的若干衬底基片(61)进行外延反应，其特征在于，包含一设置有机械手(21)的传输腔(20)、分别与传输腔(20)连接的等于或大于两个的外延反应腔(10)；所述托盘(60)分别放置在所述多个外延反应腔(10)内，使若干衬底基片(61)在该多个外延反应腔(10)同时进行外延反应。 【当前权利人】江苏中晟半导体设备有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市金坛市金坛经济开发区华城路318号 【专利权人类型】有限责任公司(港澳台投资、非独资) 【统一社会信用代码】91320413570380113C 【引证次数】6.0 【被引证次数】9 【他引次数】6.0 【被他引次数】9.0 【家族引证次数】9.0 【家族被引证次数】12

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