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单晶硅切片中的清洗装置专利

时间:2026-06-08    作者:admin 点击: ( 8 ) 次

【摘要】 。本实用新型涉及一种单晶硅的切片清洗装置,在支架两侧开槽,清洗脱胶时,将切好的晶棒摆放于支架上,再用钢尺放在支架两侧槽内,主要是放在晶棒头尾两侧,以固定住硅片,防止脱胶时胶软化,硅片倒下导致硅片损伤。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州益鑫新能源科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省金坛市经济开发区华城路266号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201020557161.8 【申请日】2010-10-09 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201862609U 【公开公告日】2011-06-15 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201862609U 【授权公告日】2011-06-15 【授权公告年份】2011.0 【发明人】殷国庆 【主权项内容】一种单晶硅切片中的清洗装置,由支架、晶棒、钢尺等组成,其特征在于在支架两侧开槽。 【当前权利人】常州益鑫新能源科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省金坛市经济开发区华城路266号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320413763585983H 【被引证次数】3 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】3

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