【摘要】 一种无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件，包括金属套、钢丝托脚、陶瓷涂层和限位螺钉，钢丝托脚焊接在金属套上，在金属套上设有螺纹孔，限位螺钉旋接在金属套上螺纹孔中，在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。由于石英玻璃管具有强度高、耐高温、膨胀系数低、耐酸、化学稳定、耐热震性能良好的优点，用它作为硅片托架主体杆，空心管结构吸热量少。在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。由于陶瓷具有很高的熔点和很好的耐磨性，从硅片背面粘附的铝浆不易与之形成尖锐合金体，能降低传输过程中的破损率。这样既满足了托脚应具备的强度、耐高温、耐磨损要求，又降低了硅片在烧结过程中由于与金属接触导致硅片被金属离子玷污。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州亿晶光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201010523670.3 【申请日】2010-10-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102032774A 【公开公告日】2011-04-27 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】F27B9/24; F27B9/30; F27D3/12 【发明人】孙铁囤; 荀建华; 刘志刚; 高玉山; 潘盛; 姚伟忠; 陈琼 【主权项内容】一种无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件，其特征是：它包括金属套(41)、钢丝托脚(42)、陶瓷涂层(43)和限位螺钉(44)，钢丝托脚(42)焊接在金属套(41)上，在金属套(41)上设有螺纹孔(45)，限位螺钉(44)旋接在金属套(41)上的螺纹孔(45)中，在钢丝托脚(42)的外表面上设有陶瓷涂层(43)。 【当前权利人】常州亿晶光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320413748721887W 【引证次数】7.0 【自引次数】1.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】7.0

未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1780848548.html