【摘要】 一种多晶硅槽式制绒冷却装置，包括制绒槽、腐蚀液输入管、循环泵、入口温度传感器、热交换器、腐蚀液输出管、出口温度传感器、冷却液池、变量泵、回收池和电控部件，制绒槽中腐蚀液经循环泵抽吸通过腐蚀液输入管进入热交换器内的热液支管中，降温后的腐蚀液从腐蚀液输出管流回制绒槽，入口温度传感器和出口温度传感器分别设置在腐蚀液输入管和腐蚀液输出管上，电控部件根据它们的信号控制变量泵，通过改变冷却液的流量来调节冷却速度。由于对多晶硅制绒槽进行了循环冷却处理，从而有效控制制绒槽中腐蚀液的温度变化，使温差值控制在预定的工艺要求范围之内，克服了现有技术中存在的缺点，满足了多晶硅制绒工艺对腐蚀溶液的温控要求。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州亿晶光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201010209471.5 【申请日】2010-06-18 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101967682A 【公开公告日】2011-02-09 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】C30B33/10 【发明人】郝子龙 【主权项内容】一种多晶硅槽式制绒冷却装置，其特征是：包括制绒槽(1)、腐蚀液输入管(2)、循环泵(3)、入口温度传感器(4)、热交换器(5)、腐蚀液输出管(6)、出口温度传感器(7)、冷却液池(8)、变量泵(9)、回收池(10)和电控部件(11)，所述热交换器(5)由冷却槽内腔(51)、腐蚀液输入口(52)、热液腔(53)、热液支管(54)、冷液腔(55)、腐蚀液输出口(56)、冷却液入口(57)和冷却液出口(58)，腐蚀液输入口(52)与热液腔(53)相通连，冷液腔(55)与腐蚀液输出口(56)相通连，所有热液支管(54)都与热液腔(53)和冷液腔(55)相通连；冷却液入口(57)和冷却液出口(58)均与冷却槽内腔(51)相通连，冷却液入口(57)通过变量泵(9)与冷却液池(8)相连，冷却液出口(58)与回收池(10)相连；制绒槽(1)通过磁力循环泵(3)和高温腐蚀液输入管(2)与腐蚀液输入口(52)相通连，腐蚀液输出口(56)通过冷却腐蚀液输出管(6)通入制绒槽(1)内，在高温腐蚀液输入管(2)上设有入口温度传感器(4)，在冷却腐蚀液输出管(6)上设有出口温度传感器(7)，磁力循环泵(3)、入口温度传感器(4)、出口温度传感器(7)和变量泵(9)均与电控部件(11)电连接。 【当前权利人】常州亿晶光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320413748721887W 【引证次数】1.0 【被引证次数】1 【他引次数】1.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】1

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