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机械搅拌式制绒槽补液装置专利

时间:2026-06-07    作者:admin 点击: ( 9 ) 次

【摘要】 一种机械搅拌式制绒槽补液装置,它包括储液罐、输液管、补液泵、单向阀、流量计和制绒槽,补液泵、单向阀和流量计由输液管串联后设置在储液罐与制绒槽之间,补液泵的吸液口由输液管与储液罐的底部相通连,流量计的出液口经输液管通入制绒槽中,在储液罐中设有电动搅拌棒。由于在储液罐中增设了电动搅拌棒,且控制它在补液泵抽吸前3~5分钟就启动搅拌,这样就能对储液罐中的化学试剂进行均匀搅拌,使得储液罐中的化学试剂上下层浓度均匀,确保每次向制绒槽中的补充的化学试剂的浓度相同,保证制绒槽中制绒液满足工艺要求,从而提高了制绒工艺的稳定性,确保了硅片的制绒质量。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州亿晶光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201010562088.8 【申请日】2010-11-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102082202A 【公开公告日】2011-06-01 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】H01L31/18; C30B33/10 【发明人】陈鑫 【主权项内容】一种机械搅拌式制绒槽补液装置,它包括储液罐(1)、输液管(2)、补液泵(3)、单向阀(4)、流量计(5)和制绒槽(6),补液泵(3)、单向阀(4)和流量计(5)由输液管(2)串联后设置在储液罐(1)与制绒槽(6)之间,补液泵(3)的吸液口由输液管(2)与储液罐(1)的底部相通连,流量计(5)的出液口经输液管(2)通入制绒槽(6)中,其特征是:在储液罐(1)中设有电动搅拌棒(7)。 【当前权利人】常州亿晶光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320413748721887W 【引证次数】5.0 【被引证次数】5 【自引次数】1.0 【他引次数】4.0 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】5

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