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硅片移动托架的左右平移机构专利

时间:2026-06-07    作者:admin 点击: ( 13 ) 次

【摘要】 一种无网带高效烧结炉中的硅片移动托架的左右平移机构,包括水平推杆、杠杆、转销、支承座、滑块和竖直导轨,竖直导轨竖直地固定在滑动板上,滑块套装在竖直导轨上,杠杆的上端与滑块铰接,杠杆的下端与水平推杆铰接,杠杆的中部通过转销安装在支承座上,支承座安装在固定底板上。由于移动托架固定在进料台和出料台的滑动板上,当水平杆左右平移动时,杠杆就会绕转销转动,由于杠杆的下端与水平杆铰接,杠杆的上端与滑块铰接,滑块套装在竖直导轨上,竖直导轨固定在滑动板上,滑动板套装在滑轨上,从而迫使滑动板实现左右平移运动,满足工艺要求。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州亿晶光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201010523689.8 【申请日】2010-10-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102032776A 【公开公告日】2011-04-27 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】F27B9/30; H01L31/18 【发明人】孙铁囤; 荀建华; 刘志刚; 高玉山; 潘盛; 姚伟忠; 陈琼 【主权项内容】一种硅片移动托架的左右平移机构,其特征是:它包括水平推杆(71)、杠杆(72)、转销(73)、支承座(74)、滑块(75)和竖直导轨(76),竖直导轨(76)竖直地固定在滑动板(17、37)上,滑块(75)套装在竖直导轨(76)上,杠杆(72)的上端与滑块(75)铰接,杠杆(72)的下端与水平推杆(71)铰接,杠杆(72)的中部通过转销(73)安装在支承座(74)上,支承座(74)安装在固定底板(11、31)上。。该数据由<>整理 【当前权利人】常州亿晶光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320413748721887W 【引证次数】5.0 【被引证次数】2 【自引次数】1.0 【他引次数】4.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】2

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