【摘要】 本实用新型为无网带硅电池片烧结炉提供一种五管式硅片输送装置，包括两根固定托架和三根移动托架，固定托架和移动托架的结构相同，它们都包括石英玻璃管、金属套、托脚和限位螺钉，托脚固定在金属套上，在金属套上设有螺纹孔，金属套通过限位螺钉等间距地固定在石英玻璃管上。由于固定托架安装在两固定架上；移动托架安装在两滑板上；滑动板在往复升降机构和往复平移机构的作用下，依次完成上升、前移、下降、后退动作，使固定托架上的硅片在移动托架的作用下逐步经过隧道式烧结箱，顺利完成烧结，硅片只与托脚接触，从而提高硅片的烧结质量。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州亿晶光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201020581455.4 【申请日】2010-10-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201858873U 【公开公告日】2011-06-08 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201858873U 【授权公告日】2011-06-08 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】F27B9/30; H01L31/18 【发明人】孙铁囤; 荀建华; 刘志刚; 高玉山; 潘盛; 姚伟忠; 陈琼 【主权项内容】一种五管式硅片输送装置，其特征是：它包括两根固定托架(41)和三根移动托架(42)，二根固定托架(41)的两端分别安装在固定架(12、32)上，三根移动托架(42)的两端分别安装在滑动板(17、37)上，且固定托架(41)间隔地位于移动托架(42)之间，固定托架(41)和移动托架(42)的结构相同，它们都包括石英玻璃管(411)、金属套(412)、托脚(413)和限位螺钉(414)，托脚(413)固定在金属套(412)上，在金属套(412)上设有螺纹孔(416)，金属套(412)通过限位螺钉(414)等间距地固定在石英玻璃管(411)上。。 【当前权利人】常州亿晶光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320413748721887W 【被引证次数】6 【被自引次数】1.0 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】6

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